マグネトロンスパッタ

基板サイズ：4'主に、6'互換性があります。

スパッタ金属膜厚均一性要求：≦±5%。

ターゲット位置：4個です。

限界圧力：<6.6×10-6e Pa。

ターゲットサイズ：3インチです。

スパッタ可能な磁性材料。

ターゲットとサンプルの距離は調整可能であり、30度角度内振子。

構成load-lock、配置可能5スライス6インチの試料を用いて、高真空状態で、電動モータにより各試料をそれぞれ搬送し、各試料を順次スパッタリングし、1枚ずつ完成させる5シートスパッタコーティング。

サンプルテーブルは、750度、回転可能。

全自動真空度制御モジュール。

気道：Ar、O₂、N₂。

無線周波数電源：2個ずつ600W。

直流電源：2個ずつ1000W